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8寸晶圆用超纯水设备

来源:南昌水处理设备工程公司 责任编辑:南昌水处理工程师 发表时间:2018-08-13 13:51 点击:

  科技的发展进步让电子行业也有了翻天覆地的变化。电子行业的发展标志着人类历史文明的进步,8寸晶圆用超纯水设备是电子行业用水的重要设备之一,在这些领域中应用广泛,为电子行业提供所需的合格水质,促进了电子行业的稳定发展。

  莱特莱德水处理设备公司是水处理设备的优质供应商,多年来致力于中国水处理事业的发展,并采纳了全球先进的技术和水处理设备。拥有专业技术研发联队伍,优良的水处理设备及器材,有配套完善的生产制造工厂,完美的设计,精良的施工质量,完善的售后服务质量,为客户提供快捷优质的服务。

  8寸晶圆用超纯水设备的工艺流程

  超纯水工艺大致分成以下几种:

  1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

  2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

  3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的方式,这是一种制取超纯水的新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

超纯水设备
超纯水设备

  8寸晶圆用超纯水设备关闭再开启操作

  1、关闭每一个EDI膜块的单独电源提供装置。

  2、将系统的各个阀门的状态调节到EDI膜块循环状态。

  3、此时要关闭反渗透单元的产水输送泵。

  4、上面工作做好之后,再次启动反渗透产水输送泵。

  5、关闭每个EDI模块的进水阀隔离阀。

  6、依照EDI膜块开启顺序仔细检查,启动电子显示器清洗用超纯水设备。

  8寸晶圆用超纯水设备设计优势

  1、系统采用新水处理技术反渗透+EDI模块化设计,严格按新技术标准设计,确保水质稳定,长效运行。

  2、稳流控压设计,确保系统短时停机及长时间停机时水质保持稳定。

  3、通过完善的技术,大限度的提高系统回收率,降低能耗和运行成本。

  4、采用海德能ESPA2超低压膜,运行稳定,能耗低。

  5、采用进口美国罗门哈斯树脂,水质稳定。

  6、采用法国电气原件,性能稳定,美观耐用。

  7、所有管路采用全不锈钢管路。

  8、8寸晶圆用超纯水设备采用PH调节系统以确保水温下降或原水PH值偏低时EDI出水水质。