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10寸晶圆用超纯水设备

来源:南昌水处理设备工程公司 责任编辑:南昌水处理工程师 发表时间:2018-08-13 13:52 点击:

  莱特莱德水处理设备公司生产的10寸晶圆用超纯水设备为电子行业提供合适的用水水质,产水水质高可达18.2兆欧,是电子行业必不可少的重要设备之一。10寸晶圆用超纯水设备出水水质符合国家标准,操作简单,运行稳定,拥有强大的技术后盾和完善的服务理念,多年致力于超纯水设备生产、销售行业被广大客户所认可,产品深受广大消费者的青睐。

  莱特莱德水处理设备公司是水处理设备的优质供应商,多年来致力于中国水处理事业的发展,并采纳了全球先进的技术和水处理设备。拥有专业技术研发联队伍,优良的水处理设备及器材,有配套完善的生产制造工厂,完美的设计,精良的施工质量,完善的售后服务质量,为客户提供快捷优质的服务。

  10寸晶圆用超纯水设备优点

  为满足用户需要,达到符合标准的水质,尽可能地减少各级的污染,延长超纯水设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量。

  在工艺设计上,取得国家自来水标准的水为源水,再设有介质过滤器,活性炭过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等。

  系统中水箱均设有液λ控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人职守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。

超纯水设备
超纯水设备

  10寸晶圆用超纯水设备树脂再生工艺

  树脂在使用一段时间后,吸附的杂质接近饱和状态,就要进行再生处理,使之恢复原来的组成和性能。目前国内树脂的再生常用化学药剂酸碱法使失效的树脂恢复交换能力,酸的使用通常采用HCl或H2SO4,调配浓度为3-5%左右,碱的使用一般采用NaOH,调配浓度为3-5%左右。

  一、反洗分层:

  反洗流速10米/时,反洗时间15分钟,以沉降后阳,阴树脂层界面是否清晰判别分层效果。

  二、进再生液:

  用20分钟左右的时间泵完所需的再生液,浸泡2-3个小时后采用正洗的方法,阴树脂冲洗至出水碱度PH=8-9左右,阳树脂冲洗至出水酸度PH=5-6左右。

  三、混合:

  从底部进入氮气(也可用压缩空气,真空抽气等)进行混合,进气压0.1~0.15MPa,进气量2.5~3.0米3/(米2•分),混合时间一般为5~10分种,以柱内树脂充分混合为终点。

  10寸晶圆用超纯水设备工艺的特点

  离子交换设备是传统的去离子水设备,它的产水水质稳定,造价相对较低。在以往的电厂锅炉补给水都是采用阳床+阴床+混床处理工艺。

  近年来,随着反渗透、EDI等工艺的发展,离子交换设备操作复杂,不容易实现自动化,浪费酸碱,运行成本高等缺点更加突出,目前更多的应用于反渗透的深度处理。

  10寸晶圆用超纯水设备采用有机玻璃交换柱,有利于观察树脂运行情况。如混合离子交换器再生分层是否充分,阳离子是否“中毒”等,树脂损耗情况等。